Năm 1815 khoản dưỡng liêm của Tri phủ gồm 25 quan tiền, 25 phương gạo. Tri huyện thì 20 quan tiền, 20 phương gạo. Việc cấp tiền dưỡng liêm cho phủ, huyện cũng chia thành 4 kỳ trong năm để cấp phát cùng chế độ lương bổng.

Từ năm 1831, vua Minh Mạng chia các phủ, huyện, châu cả nước làm 4 hạng là tối yếu khuyết (tối quan trọng), yếu khuyết (quan trọng), trung khuyết (bình thường), giản khuyết (ít việc). Tùy theo 4 hạng trên mà mức độ tiền dưỡng liêm khác nhau. Đầu năm 1840, lệ tiền, gạo dưỡng liêm có thay đổi, khoản dưỡng liêm chỉ cấp bằng tiền, số gạo kèm theo cũng được đổi ra thành tiền. Quy chế nhận tiền dưỡng liêm ngày càng chặt chẽ: ban đầu được cấp phát theo hàng quý, quan mới đến trấn nhậm dù vào tháng giữa quý vẫn được cấp cả quý, quan thuyên chuyển đi nơi khác dù vào tháng đầu quý cũng không được trả lại tiền đã nhận ở quý đó. Về sau thì quan đến trấn nhậm vào tháng đầu quý thì cấp cả quý, đến tháng giữa thì cấp nửa quý, tháng cuối thì miễn cấp. Quan thuyên chuyển vào tháng đầu quý thì phải trả lại cả quý, vào tháng giữa quý thì trả lại một nửa, vào tháng cuối quý thì không cần phải trả lại.

Giá trị thực tế của khoản tiền dưỡng liêm dưới triều Gia Long, Minh Mạng rất lớn, tương đương với số lương bổng họ được nhận thực hàng tháng. Điều này có ý nghĩa rất lớn về vật chất vì quan lại có thể dựa vào tiền dưỡng liêm để đủ tiền sinh sống và bảo vệ tính thanh liêm cần thiết cho mình. Tiền dưỡng liêm thật sự là một biện pháp tương đối hữu hiệu trong việc ngăn ngừa tệ nạn tham nhũng trong hàng ngũ quan lại triều Nguyễn.